當前位置：北京金盛微納科技有限公司>>>>標準型感應耦合等離子體刻蝕機(ICP)

標準型感應耦合等離子體刻蝕機(ICP)

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：林平查看聯系方式

更新時間：2022-12-12 16:29:38瀏覽次數：567次

聯系我時，請告知來自環保在線

暫無信息

北京金盛微納科技有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：12條

所在地區：

聯系人：林平

詢價 給他留言

產品簡介

詳細描述本設備具有選擇比好，刻蝕速度快、重復性好等特點，它較RIE具有更好的綜合刻蝕效果且應用范圍更廣

詳細介紹

詳細描述

本設備具有選擇比好，刻蝕速度快、重復性好等特點，它較RIE具有更好的綜合刻蝕效果且應用范圍更廣。可刻蝕的材料主要有Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等。

本設備主要用于微電子、光電子、通訊、微機等領域的器件研發和制造。

產品主要性能指標

型號	ICP-2B
真空系統	分子泵機組
刻蝕室數量	單室
刻蝕室規格	?300×280mm
電極尺寸	?200mm
刻蝕材料	Poly-Si、Si、SiO₂、Si₃N₄、W、Mo、GaN、GaAs等。
刻蝕速率	～4 μ/min （與刻蝕材料和工藝有關）
刻蝕不均勻性	≤±5%
深硅刻蝕控制單元	可選
操作方式	手動