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深圳市科晶智達科技有限公司


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VBF-1200X-TSSG 晶體生長爐

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產品型號

品       牌

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更新時間:2022-12-11 15:21:57瀏覽次數:609次

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產品簡介

VBF-1200X-TSSG是一款頂部籽晶法晶體生長爐,可利用助溶劑法生長各種材料單晶

詳細介紹

VBF-1200X-TSSG是一款頂部籽晶法晶體生長爐,可利用助溶劑法生長各種材料單晶。配備精密旋轉提拉機構可用于頂部籽晶助溶劑法生長各種晶體材料,提拉和旋轉速度采用PLC觸摸屏控制,操作簡便。箱式爐采用氧化鋁纖維作為爐膛材料,以電阻絲為加熱元件,其腔體尺寸為φ240mm×200mm(H),溫度可達1200℃。采用歐陸儀表進行控溫,可根據不同的客戶需求來設定升降溫程序(24段),控溫精度可達±0.1℃。

性能指標和基本配置
產品特點

● 由1200℃井式箱式爐與精密旋轉提拉機構兩部分組成,可用于TSSG法生長各種材料單晶
● 溫度可達1200℃
● 提拉和旋轉速度采用PLC觸摸屏控制,操作簡便
● 爐體可移動,裝樣方便
● 箱式爐采用雙層殼體結構,使得表面溫度<60℃

工作電源

● AC220 50/60Hz
● 功率:4KW

爐體結構參數

● 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲
● 爐膛材料:氧化鋁多晶纖維
● 內部加熱區尺寸:φ240mm×200mm(H)
1

工作溫度

● 工作溫度:1200℃(<1h)
● 連續使用溫度:1100℃

控溫方式

● 采用歐陸儀表進行控溫,控溫精度:±0.1℃
● 智能化24段可編程控制 ,可設置24段升降溫程序
● 升溫速率:0-10℃/min(建議≤5℃)
1

籽晶提拉旋轉機構

● PLC觸摸屏控制,操作方便
● 步進電機控制
● 籽晶直徑:30mm
● 提拉行程:250mm
● 提拉速度:0.1-50mm/h
● 旋轉速度:0.1-23r/min
● 快速升降速度:50mm/min

產品尺寸

650mm L*540mm W*1950mm H
1

產品重量

120kg

應用注意事項

提拉旋轉機構可與本公司1600℃井式爐結合使用,溫度可達1600℃,用于高熔點晶體生長工藝
1

質量認證

CE認證

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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