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VTF-1200X-III-TSSG 三溫區頂部籽晶助溶劑法（TSSG）單晶生長爐

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更新時間：2022-12-02 16:26:50瀏覽次數：458次

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深圳市科晶智達科技有限公司

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產品簡介

VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區頂部籽晶助熔劑法（TSSG）晶體生長爐

詳細介紹

VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區頂部籽晶助熔劑法（TSSG）晶體生長爐。此設備主要由3部分組成：3溫區加熱爐（爐膛尺寸為：Φ127mm×600mm,溫度為1200℃），溫控系統可設置28段溫度程序段，控溫精度±1℃和精密旋轉提拉機構，其提拉速度為0.8-50mm/hour.

性能指標和基本配置
爐體	● 3溫區加熱： 150mm+300mm+150mm，三個溫區由獨立的溫控系統控制，可創造出較大的溫度梯度 ● 工作溫度： 1200℃（小于1小時） ● 連續工作溫度: 1100oC ● 功率: 208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相 ● 功率： 5KW
控制面板	● PLC觸摸屏控制面板，可設置和控制提拉行程，提拉速度和旋轉速度等 ● 溫控系統：可設置28段溫度段，采用PID方式調節溫度，其控溫精度為±0.1℃ ● 升溫速率： 0~10oC / min ● 提拉速度: 0.8-50mm/h （可調） ● 下降速度: 40 mm/minute ● 籽晶桿轉速: 0.1-23 RPM（可調）
提拉行程	300mm
加熱腔體	● 腔體直徑為Φ135mm(設計為開啟式），可直徑為Φ80mm的坩堝 ● 加熱區長度600mm ● 可選購真空密封件：直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭
設備尺寸
籽晶提拉機構	● 水冷提拉桿直徑：28mm ● 可定制的提拉速度范圍：0.03-12mm/h（客戶根據實際需求進行定制，具體情況可與本公司銷售聯系） ● 提拉行程：400mm ● 手動操作實現快速升降 ● 選配：旋轉速度：0.03-50r/min（根據要求定制旋轉機制以及旋轉速度范圍）
產品認證	CE認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。