国产精自产拍久久久久久蜜,亚洲视频在线观看,亚洲小说图片,国产伦精品一区二区三区免.费

行業產品

  • 行業產品

福芯科技(香港)有限公司


當前位置:福芯科技(香港)有限公司>>>>反應離子刻蝕機Etchlab 200

反應離子刻蝕機Etchlab 200

返回列表頁
參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地

聯系方式:查看聯系方式

更新時間:2022-10-01 13:17:24瀏覽次數:354次

聯系我時,請告知來自 環保在線


    暫無信息


    暫無信息

經營模式:其他

商鋪產品:19條

所在地區:

產品簡介

反應離子刻蝕機Etchlab 200

詳細介紹

產品概述

反應離子刻蝕機 Etchlab 200 是研發用干法刻蝕工藝的基本型和經濟型設備,可逐步升級到完整的反應離子刻蝕設備 RIE、適用于所有工藝氣體和工藝要求。

Etchlab 200 具有模塊化設計、工藝穩定性、使用簡便,直接放置晶圓。Etchlab 200 適用于廣泛的刻蝕工藝,例如刻蝕硅、氧化硅、金屬、三五族化合物和聚合物。

單晶片反應腔室內的經過長期驗證的模塊可滿足各種要求、包括繁重的刻蝕任務。按照的刻蝕任務和等離子體化學氣體要求,反應腔室可配置不同的氣體系統。設備所有的重要參數均為自動控制。

下電極可容納直徑 4 吋到 8 吋的晶圓。下電極水冷、或通過可選的循環冷卻器將溫度控制在 10°C 到80°C。下電極的 13.56 MHz 射頻功率源產生等離子體(RIE 模式)。不同的等離子阻抗自動匹配到射頻發生器的 50 歐姆輸出。產生等離子體的同時,加載到下電極上的 13.56 MHz 射頻功率同時產生一個直流自偏壓。直徑 100 mm 到 200 mm 的晶圓直接放置在下電極上。

真空系統包括渦輪分子泵和機械前級泵、符合 RIE 工藝所需的壓力-流量要求。自動節流閥保持反應腔體內的壓力、獨立于氣體流量。質量流量計(MFC)提供高穩定的氣流。這樣就能達到精確和可重復的刻蝕條件。

系統具備*的硬件和軟件控制系統,采用客戶機-服務器結構。成熟、可靠的遠程現場控制器(RFC)通過串行現場總線(Interbus)、實時控制所有部件。基本的安全互鎖由該 RFC 實現。

其他推薦產品更多>>

感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

環保在線 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.aboay.com,All rights reserved.

以上信息由企業自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責,環保在線對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示:為規避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
主站蜘蛛池模板: 云阳县| 庐江县| 东安县| 自贡市| 安岳县| 浦江县| 巨野县| 旬阳县| 亚东县| 屏东市| 河北区| 太原市| 阜康市| 大埔县| 孝义市| 邢台市| 广丰县| 竹溪县| 乌鲁木齐市| 奉新县| 特克斯县| 北安市| 安达市| 黔东| 阳江市| 建始县| 新沂市| 北宁市| 西青区| 通海县| 卓尼县| 鹰潭市| 格尔木市| 蕉岭县| 荣成市| 偏关县| 新营市| 缙云县| 长寿区| 科技| 承德市|