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YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510

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更新時間：2023-01-05 12:27:50瀏覽次數：321次

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產品簡介

YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510 PR500 / 510是廣泛用于這種應用，生產半導體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性，具有自動調諧系統作為標準組件及其他功

詳細介紹

YAMATO氣體等離子體刻蝕機PR500/510
PR500 / 510是廣泛用于這種應用，生產半導體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性，具有自動調諧系統作為標準組件及其他功能。

YAMATO氣體等離子體刻蝕機特點：
• 它具有一個緊湊的設計，具有小尺寸的高頻發生器和一個振蕩部分集成在一起的腔室的一部分。
• 隨著直徑215毫米大口徑室，單位可以處理大的測試樣品。

YAMATO氣體等離子體刻蝕機產品規格:

產品規格

模型	PR500	PR510
法	桶型直等離子
控制部分
高頻輸出	max 500W
振蕩頻率	13.56 MHz
輸出阻抗	50Ω
調整方法	自動調諧
儀器	輸出功率表（0?600W）反射波功率表（0?300W）真空壓力表，熱電偶式流量計，針型閥集成型，2臺
定時器	0.1秒。到999H
進氣口	1/4“不銹鋼，2入口
電源（50 / 60Hz）	AC 100 / 220V，單相，2千伏安
反應部分
反應室	石英制成的，φ215×305毫米
電極結構	聚光型，四分割
控制系統	自動減壓，自動閥泄漏	觸摸屏與PLC控制
配管材料	SUS，鐵弗龍
外形尺寸（W×D×嗯）	438×520×760	520×630×760
重量	約38千克	約60公斤
YAMATO氣體等離子體刻蝕機標準配件
連接電纜：1配套真空潤滑脂：1件 O形圈的反應室：1件。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機可選配件
幀的晶片，2，3，4，5，6英寸多用途傾斜的框架鋁蝕刻隧道，架