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等離子刻蝕機

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更新時間:2022-12-15 17:53:20瀏覽次數:477次

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等離子刻蝕機等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等

詳細介紹

等離子刻蝕機

    等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中見的一種形式,其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

等離子刻蝕機的應用

等離子體處理可應用于所有的基材,甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗,等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低,因此,低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子刻蝕機的典型應用包括:

等離子體清除浮渣

光阻材料剝離

表面處理

各向異性和各向同性失效分析應用

材料改性

包裝清洗

鈍化層蝕刻

聚亞酰胺蝕刻

增強粘接力

生物醫學應用

聚合反應

混合物清洗

預結合清洗

等離子刻蝕的影響因素

氣壓(Pressure)。  

溫度(Temperature)提高溫度會提高刻蝕率。  

–Micro-loading  

刻蝕后腐蝕(Post-etch corrosion)。  

殘留物(residual)。

關鍵詞:刻蝕機
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