潔凈室是各個高精尖科技領(lǐng)域發(fā)展所必需的環(huán)境,而多點測量系統(tǒng)又是當(dāng)前潔凈室檢測方法中的方法,沒有它就沒有潔凈室。因此發(fā)展基于多點測量系統(tǒng)的潔凈室是我們發(fā)展高精尖科技產(chǎn)業(yè)所必須的有力保障。同時多點測量系統(tǒng)本身也有著廣泛的應(yīng)用場合和廣闊的市場前景,因此研發(fā)此系統(tǒng)有著重要的意義。 本文以塵埃粒子計數(shù)器的設(shè)計為主線,論述的主要內(nèi)容如下: 1、介紹了塵埃粒子計數(shù)器的使用環(huán)境,塵埃粒子計數(shù)器在潔凈室中的重要作用。 2、詳細介紹了塵埃粒子計數(shù)器實現(xiàn)的光學(xué)原理,以及選擇計數(shù)器中主要的光學(xué)元器件的方法。 3、詳細設(shè)計了塵埃粒子計數(shù)器的硬件電路實現(xiàn)方式,以及為其定制的前置放大電路,數(shù)據(jù)采集電路。 4、編寫了塵埃粒子計數(shù)器的軟件程序,并對軟件系統(tǒng)進行了詳盡的說明和分析。 5、對于系統(tǒng)中多點測量的詳細介紹,并用實際的測量數(shù)據(jù)來檢驗多點測量塵埃粒子計數(shù)系統(tǒng)的準確性。