潔凈室塵埃粒子在線監控系統

潔凈室采用臺式塵埃粒子計數器、壓差計和溫濕度計等儀器進行流動式測試，首先布置采樣點平面圖，然后用臺式塵埃粒子計數器流動式測試各個采樣點的空氣粒子個數，將數據輸入電腦，整理數據，繪出塵埃粒子分布圖。

根據潔凈室設計規范，布置采樣點時，采樣點個數是用潔凈室面積開平方確定的。這些點僅僅是潔凈室大環境下的塵埃粒子測試點，不包括相關工序上的塵埃粒子控制點，粒子計數傳感器安裝不靈活，不能檢測各個工序上的塵埃粒子數。

現有的多點檢測裝置，在每個點都使用一個氣泵，而氣泵是潔凈室的一種新的污染源。

現有在線式塵埃粒子計數器，在每個在線式塵埃粒子傳感器均需要使用一個電源適配器才能供電，這樣就限制了在線式塵埃粒子計數器安裝位置，會導致在線式塵埃粒子計數器的采樣管加長，導致采集到的塵埃粒子到達塵埃粒子計數器時變化較大。譯

總之，現有的在線式塵埃粒子計數器雖然達到了實時監測塵埃粒子數的目的，但由于在使用過程中每臺計數傳感器均需一條電源適配器、一條網線，使得潔凈室布置不夠簡潔，且發塵源增多，兼顧不到潔凈度高的工序的塵埃粒子監控。網線和電源適配器目前是比較大的發塵源(集塵源)，且網線表面含有有機硅等成分，在電子行業潔凈室中是禁止使用的。實用新型內容

潔凈室的塵埃粒子計數器安裝不靈活，且因為進行在線塵埃粒子計數而導致潔凈室內集塵源增多的缺陷，提供一種可靈活安裝塵埃粒子計數傳感器且能夠減少集塵源的潔凈室塵埃粒子在線監控系統。

潔凈室塵埃粒子在線監控系統，包括多個塵埃粒子計數傳感器、無線路由、無線接收節點設備、路由設備和監控終端，所述塵埃粒子計數傳感器安裝在潔凈室的多個檢測點，所述塵埃粒子計數傳感器包括塵埃粒子采樣管、數據發射裝置和光電池，所述光電池將光能轉化為電能給所述塵埃粒子計數傳感器供電，所述塵埃粒子采樣管置于潔凈室真空氣路中，所述塵埃粒子計數傳感器將采集的塵埃粒子數據通過所述數據發射裝置無線發射給所述無線路由，所述無線路由再將接收的數據無線發送給所述無線接收節點設備，再通過所述路由設備將數據傳給所述監控終端進行在線監控。

潔凈室塵埃粒子在線監控系統中，所述數據發射裝置包括通信接口和無線發射器，所述塵埃粒子計數傳感器將采集的塵埃粒子數據經過所述通信接口轉換后再通過所述無線發射器無線發送給所述無線路由。

潔凈室塵埃粒子在線監控系統中，所述通信接口為RS485的通信接口。

潔凈室塵埃粒子在線監控系統中，所述監控終端為安裝有PLC系統、且可以根據獲取的塵埃粒子數據實時監控潔凈室內各檢測點的塵埃粒子數的變化趨勢的計算機。

塵埃粒子計數傳感器采用光電池代替原來的電源適配器，該光電池可以將如日光燈的光能轉化為電能，使得塵埃粒子計數傳感器的安裝不受電源適配器的限制；在潔凈室內采用無線路由和無線接收節點設備將塵埃粒子計數傳感器采集的數據進行無線傳輸和接收，無需在潔凈室內安裝網線，避免了網線表面硅的污染，減少了潔凈室內的集塵源。