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X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀

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具體成交價以合同協議為準

產品型號XPert3 MRD

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2023-10-03 10:53:05瀏覽次數:304次

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經營模式:其他

商鋪產品:9條

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產品簡介

高分辨率X射線衍射儀,主要用途為測量 Si, Ge, SiC, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, InP, AlN, GaSb 等化合半導體材料的單晶和外延層材料的結晶完整性,外延層及相應半導體器件結構的組分、厚度、弛豫度等參數的測定,外延結構的晶格失配及應變狀態分析,X-Y map均勻性分析,雙軸晶和三軸晶X射線衍射,對稱和非對稱掃描,Out-of-plane 和 In-plan......

詳細介紹

設備功能

倒易空間掃描(RSM) – 一分鐘完成自動掃描及自動分析

高分辨衍射(HRXRD) – W/2T,2T/W,2T……掃描

搖擺曲線(Rocking Curve) – W 掃描

反射率(XRR) – 材料密度,厚度,粗糙度(Option)

晶格參數(Lattice parameter),晶向(Orientation)及晶面鑒定(Reflection plane)

切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鑒定

晶體缺陷鑒定(Defect)

曲率半徑鑒定(Curvature)

應力(Strain)及弛裕度(relaxation)鑒定

晶格失配率鑒定(Mismatch)

成份分析,厚度分析

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