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晶圓紅外檢測系統(tǒng) 無損探傷檢測設(shè)備

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產(chǎn)品型號HS-Phys-IRis

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聯(lián)系方式：鄭蘭查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-10-27 12:01:59瀏覽次數(shù)：483次

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北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：22條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：鄭蘭（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

測量范圍	■直徑達(dá)420mm、厚度達(dá)30mm的晶圓檢查	產(chǎn)地	進(jìn)口
尺寸	■直徑達(dá)420mm、厚度達(dá)30mm的晶圓檢查mm	分辨率	0.1毫米分辨率的近紅外InGaAs探測器
類型	無損傷	重量	200kg

HS-Phys-IRis晶圓紅外檢測系統(tǒng)專門用于包括硅材料等半導(dǎo)體晶圓及晶環(huán)生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)晶圓內(nèi)部的機(jī)械隱裂等肉眼無法觀測的內(nèi)部缺陷，其檢測直徑可達(dá)420mm。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點

■ 直徑達(dá)420mm、厚度達(dá)30mm的晶圓檢查

■ 100µm分辨率下的紅外隱裂檢測

■ 紅外透射測量

■ .特殊設(shè)計的帶金鏡的紅外光源

■ 具有類似顯微鏡的手動控制。

■ 伺服驅(qū)動軸是可選的。

■ 框架由高精度CNC制造的Alplan材料制成，表面陽極氧化

■ 旋轉(zhuǎn)臺采用雙軸承，確保長期使用的耐久性。

■ 可使用設(shè)定輪手動調(diào)焦，手動旋轉(zhuǎn)測試臺

■ InGaAs冷卻紅外傳感器，晶片表面18x20mm檢測區(qū)域

■ 具有參數(shù)設(shè)置、快照和實時視頻錄制功能

■ 直流供電，紅外光源穩(wěn)定，可手動改變亮度

■ 使用耐用組件和低成本耗材，可降低運行成本

技術(shù)指標(biāo)：

■ 主要探測：半導(dǎo)體級硅晶片/環(huán)，光伏硅片，碳化硅晶片，藍(lán)寶石晶片等半導(dǎo)體晶片/環(huán)

■ 晶圓直徑達(dá)420mm，厚度達(dá)30mm

■測量技術(shù)：紅外透射成像

■采集：伺服驅(qū)動樣本加載，伺服驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，手動聚焦。晶圓邊緣的實時圖像或自動圓掃描

■成像系統(tǒng)：0.1毫米分辨率的近紅外InGaAs探測器

■高靈敏度溫控FPA

■照明：鹵素?zé)襞荩瑤в刑厥庠O(shè)計的電容器、金鏡和長程過濾

■攝像頭控制：由Phys MetroStation軟件環(huán)境控制

■合規(guī)：CE、RoH

關(guān)鍵詞：顯微鏡電容器傳感器



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