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8.5實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2022-11-02 17:41:58瀏覽次數(shù)：238次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹： 8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是一種等離子體清洗劑或蝕刻裝置，直徑8.5英寸x 14英寸長(zhǎng)石英腔和0 - 80W可變射頻功率。8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)采用空氣、氧氣或氬氣等離子體對(duì)基體或晶圓片表面的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下，有機(jī)去除率zui高可達(dá)20nm /min左右。8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是在外延薄膜沉積前......

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)配有一個(gè)直連式雙旋真空泵，可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空，同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理，將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。

8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

輸入功率	? AC 220V , 50/60 Hz, ? 射頻功率：80 W Max.（標(biāo)準(zhǔn)） ? 真空泵：正常550W,啟動(dòng)750W ? 總功率：830W max. ? 工作電流≤3A
射頻功率	? 射頻功率可在0-80W范圍內(nèi)調(diào)節(jié) ? 射頻：13,56 MH ? 可選：可根據(jù)要求提供300 W射頻電源，需額外收費(fèi)
等離子室	? 8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室 ? 體積: 12 L ? 鉸鏈?zhǔn)角胺ㄌm由鋁制成 ? 2.3"直徑（60mm）石英窗口，便于觀察 ? 屏蔽RF輻射，零RF泄漏
控制面板	? 6"彩色觸摸屏，可自動(dòng)控制所有參數(shù)，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時(shí)間。 ? 內(nèi)置一個(gè)通道質(zhì)量流量計(jì)（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m
真空泵和閥門	? 包含排氣過(guò)濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 ? *終總壓力為50 mTorr
惰性氣體	? 可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內(nèi)） ? 等離子清潔器不得使用
總體尺寸	620 L×600 W×600 H, mm
保證	一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無(wú)保修)

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關(guān)鍵詞：等離子清洗機(jī) 真空泵質(zhì)量流量計(jì) 旋片式真空泵

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