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柜谷科技發(fā)展(上海)有限公司
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更新時間:2022-10-06 12:05:36瀏覽次數(shù):187次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線等離子清洗機 PDC200/210/510
PDC200/210/510等離子清洗機
高頻輸出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),電極尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應多種用途。
用途
?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
?去除有機膜和金屬氧化膜
?印刷電路基板的干式清洗
?界面活性處理
?LED封裝
特征
?DP模式(PDC510標配·PDC200/210選配)
?RIE模式
?均勻性高的電極構造
?操作簡單的觸摸屏控制器
規(guī)格
型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等離子模式 | RIE(DP模式選配) | RIE/DP | |
電極構造 | 平行平板(固定) | ||
高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
反應室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
反應室材質 | 鋁 | ||
反應氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) | ||
填充氣體 | N2或干燥空氣 | ||
反應氣體流量控制 | 流量計 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行選配 | 油泵(約345L/分)標配 | 油泵(約500L/分)標配 |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 | ||
外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
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