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單靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2023-07-08 17:39:40瀏覽次數(shù):203次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

單靶等離子濺射儀

詳細介紹

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產(chǎn)品名稱: 單靶等離子濺射儀
儀器型號: BO.28-1100X-SPC-16
產(chǎn)地: 國產(chǎn)
關(guān)鍵字: 單靶等離子濺射儀
產(chǎn)品描述

產(chǎn)品簡介:

 單靶等離子濺射儀是一種已經(jīng)通過CE認(rèn)證的緊湊型等離子濺射儀。用于金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜。樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300埃。特別適用于SEM樣品的鍍膜。本品包括真空泵和預(yù)置一個金靶。

主要特點:

單靶等離子濺射儀主要特點如下:

1配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);
2. 
濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體
3. 
特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現(xiàn)象;
4. 
陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用;
5. 根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

 

技術(shù)參數(shù):

 單靶等離子濺射儀主要技術(shù)參數(shù):

1、輸入電源:220V,總功率小于2000W(包括真空泵)

2、樣品室尺寸:直徑160mm,高度120mm;

3、樣品臺:直徑50mm,可以同時給8SEM樣品鍍膜,樣品臺高度可調(diào)。均勻鍍膜區(qū)域為直徑45mm;

4、氣氛控制:針閥控制氣體流量,已取得更好的鍍層效果;

5、外形尺寸:長400mmx300mmx400mm;

6、凈重:約30公斤;

7、保質(zhì)期和證書:1年保質(zhì)期及CE認(rèn)證證書。

 

產(chǎn)品規(guī)格:

 

標(biāo)準(zhǔn)配件:

 

可選配件:

金、銦、銀、鉑等各種靶材

關(guān)鍵詞:離子濺射儀 真空泵
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