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PSE-150Culvac-kiko蒸發(fā)電源 控制器 溫度調(diào)節(jié) 離子濺射儀
參考價: 980000
訂貨量: 1000
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • PSE-150C 產(chǎn)品型號
  • 其他品牌 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 深圳市 所在地

訪問次數(shù):655更新時間:2023-04-11 13:47:54

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn)
ulvac-kiko蒸發(fā)電源 控制器 溫度調(diào)節(jié)PSE-150C
將架臺上的油擴散泵,油回轉(zhuǎn)泵,皮拉尼真空計,閥門配管,電氣系統(tǒng),壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的,配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設備。
適用于大型基板的基礎研究開發(fā)等實驗用途。
產(chǎn)品介紹

ulvac-kiko蒸發(fā)電源 控制器 溫度調(diào)節(jié)PSE-150C

ulvac-kiko蒸發(fā)電源 控制器 溫度調(diào)節(jié)PSE-150C



將架臺上的油擴散泵,油回轉(zhuǎn)泵,皮拉尼真空計,閥門配管,電氣系統(tǒng),壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的,配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設備。

適用于大型基板的基礎研究開發(fā)等實驗用途。


特點

  • 玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部,有良好的操作性。

  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

  • 通過追加蒸發(fā)電源和電極,可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。

  • 更改為EB規(guī)格,可成膜高熔點的材料。

  • 蒸發(fā)設備帶有腳輪,移動更為容易。

  • 帶有調(diào)節(jié)器,可確保設置的安全性。

規(guī)格

型式VPC-1100
真空性能極限壓力4.0×10-4Pa
1.3×10-4Pa(液體氮氣使用時)
排氣時間4.0×10-3Pa/10min
10-4Pa臺/10min(液體氮氣使用時)
真空槽真空槽玻璃鐘罩(內(nèi)徑Φ390mm×高350mm)
饋通圈20端口(側(cè)面14/底面6)
基板推薦尺寸?最大尺寸□50mm ? □220mm(Max)
電源系統(tǒng)蒸發(fā)電極構(gòu)成3點式
蒸發(fā)電源?數(shù)量SEREM PSE-150C?1 式
0~10V 150A(Max)
排氣系統(tǒng)主泵油擴散泵(水冷) 1100L/sec
液體氮氣捕集器
補助泵油回轉(zhuǎn)泵 200L/min、2臺
油霧捕集器選項
操作系統(tǒng)主閥蝶閥
補助閥三通閥
自動泄露閥選項
操作手動
控制系統(tǒng)皮拉尼真空計GP-1G
電離真空計選項
設置最大尺寸  本體1235mm(W)×836mm(D)×2155mm(H)
      電源設備本體收納










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