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浚和（上海）儀器有限公司
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YAMATO等離子清洗機PR1000
高頻等離子表面處理裝置。 型號 PR1000 方式 DP模式、圓柱形腔體 性能 發生器功率： 0-1000W 發生器頻率： 射頻RF13.56Mhz 發生器匹配方式： 自動匹配（Auto matching) 構成 腔體材質： 石英 腔體內尺寸： φ400×L500mm 約62.8L 反應氣體： 雙路工藝氣體，其中一路可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體，一路防腐蝕氣路支持CF4. 填充氣體： 一路氮氣 控制方式： 全自動控制，7寸液晶觸摸屏 真空度顯示： 測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內真空度 配管材質： SUS不銹鋼以及特氟龍 門： 鉸鏈門 涂裝顏色： 標準色，白系 外形尺寸： W800×D919×H1958mm （高度含警報燈） 真空泵： 無油干式真空泵 抽速60m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 電源規格： 3phase AC200V 50/60Hz 8A 重量： 約215kg 附屬品 真空管件一套、真空轉接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，發生器自動匹配，無需調節反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■ 安全性·保護
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發生器異常等三層報警燈，可實時監測和了解機器的運轉狀態。
● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
● 發生器保護回路：超負荷或者RF發生器發生問題時，可自動調低頻率來保護發生器。
● 門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源。
● 側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
● 運行中ERR報警：運行中出現以下問題設備會出現ERR報警，并停止裝置：RF輸出值與設定值不符，氣體流量值與設定值不符，RF反射波超過一定范圍，真空度未達到設定值，等離子處理后，設定時間內，未恢復到大氣壓。
■ 產品優勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
規格：
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