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上海爾迪儀器科技有限公司

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Diener 等離子表面處理儀 Tetra100 羅茨風機

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產品型號

品牌

廠商性質其他

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更新時間:2023-08-17 09:26:37瀏覽次數:227次

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技術應用鏈接:特點:便捷的觸摸屏操作界面數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式異常報警功能自動/手動操作模式可切換儲存多套工藝程序遠程操控
技術應用鏈接:

特點:

·便捷的觸摸屏操作界面

·數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠程操控,數據導出

·模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

 

技術規格:

型號

Tetra 100

控制系統

控制方式

全自動控制(自動/手動切換)

BASIC PC

FULL PC

操作系統

Windows CE

Windows 10

觸摸屏

3.5/7”

7/15”

工藝氣體

O2 Ar N2 Air SF6 CF4

工藝氣路

1-3路(可選)

1-10路(可選)

流量計

MFC /防腐型MFC

真空腔體

不銹鋼W400xD625xH400/100L

鋁合金W400xD625xH400/100L

電極

材質

鋁/不銹鋼電極

層數(可選)

1-10(可選)

1-2

1-5

發生器

 

40kHz 0-1500W

80kHz 0-1000W 0-3000W

13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

2.45GHz 0-1200W

真空壓力計(mba)

皮拉尼傳感器(0-9.99)

托盤

不銹鋼/鋁

實板/鏤空

層數

1-10(可選)

外形尺寸WDH(mm)

600x850x1700(2100)

電源

AC400 V / 16 A

真空泵抽氣速度

根據工藝選擇

選配件

單體導入模塊、遠程控制系統、防腐系統、氣浴、托盤/腔體冷卻系統、加熱模塊、RIE電極(刻蝕)、石英舟、干泵

 

 

關鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
Tetra100
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

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