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上海爾迪儀器科技有限公司

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Diener 等離子表面處理儀 ATTO 羅茨風機

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產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地

更新時間:2023-08-15 09:16:04瀏覽次數:269次

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技術應用鏈接:特點低壓等離子系統
技術應用鏈接:

特點

· 低壓等離子系統,用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現控制高機能

· 10.5L腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院、高校、研發中心使用

· 8” Wafer去膠清洗

 

        

 

 

技術規格:

型號

ATTO

ATTO PCCE

控制系統

手動控制

PCCE 控制系統

工藝氣路

雙路氣體

工藝氣體

O2ArN2CO2H2Air

單體導入

H2O等單體(選配)

流量計

針閥流量計

MFC流量計

真空

腔體

材質

高硼硅玻璃腔體,蓋子門帶觀察窗(石英,鉸鏈門選配)

內尺寸(Dia.×D)

211×300mm

容積

10.5L

電極

360度外置環繞電極

發生器*

 

40KHz     0~200 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空壓力計

指針式壓力計(選購)

皮拉尼數字式壓力計

計時器

旋鈕式(選購)

數字式

托盤

高硼硅玻璃(石英選配)W200xD260xH5mm

外形尺寸(WXDxHmm

525x450xD450

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度8m3/H

 

關鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
ATTO
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

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