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擴展電阻測試儀

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更新時間：2017-12-31 11:11:40瀏覽次數(shù)：471次

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北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

擴展電阻測試儀
型號：進口
擴展電阻法是利用特殊的點接觸金屬探針，沿著樣品的表面，以微小的步進測出半導體材料或器件表面的每一點的擴展電阻值，由此得到電阻、電阻率和載流子濃度（摻雜雜質(zhì)濃度）及其分布的一種測量技術(shù)。

詳細介紹

擴展電阻測試儀
型號：進口
擴展電阻法是利用特殊的點接觸金屬探針，沿著樣品的表面，以微小的步進測出半導體材料或器件表面的每一點的擴展電阻值，由此得到電阻、電阻率和載流子濃度（摻雜雜質(zhì)濃度）及其分布的一種測量技術(shù)。
本儀器適用于檢測P型和N型硅單晶微電阻率均勻性，檢測擴散層的微區(qū)電阻率變化也可用于硼磷擴散工藝的監(jiān)控，同時該儀器還可以測量銻化銦、砷化鎵濃度的相對變化量。

應用實例
■ 硅晶體電阻率微觀均勻性的測量
■ 硅晶體中氧濃度及其分布的測量
■ 硅晶體離子注入層的測量
■ 硅外延層厚度和載流子濃度的測試
■ 硅pn結(jié)和器件結(jié)構(gòu)的測試
■ 硅晶體中雜質(zhì)擴散特性的測試
■ 硅晶體離子注入層的測量