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利方達(香港)有限公司北京辦事處
PEV-1壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合,主要應用領域包括:磁控濺射,光學鍍膜,太陽能電池,ITO,等離子體刻蝕等。
PEV-1壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合,主要應用領域包括:磁控濺射,光學鍍膜,太陽能電池,ITO,等離子體刻蝕等。
PEV-1壓電閥主要技術特點:
1、控制模式:開環控制和閉環控制
2、易于集成:可與國產自動壓強控制儀配套使用,來實現閉環控制,達到穩定壓強的目的,性價比高,同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩定,壓電陶瓷片壽命長
5、無機械連接件,無伺服馬達,無磨損,在斷電的情況下可實現自動關閉的特點
技術參數:
流量:0¬—500 scmm
響應時間:2 毫秒
漏率:1*10-9sml/sec
電壓:0—100VCD
溫度范圍:10攝氏度至60攝氏度
zui大入口壓強:50PSI
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