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利方達（香港）有限公司北京辦事處
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SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標準型有兩路傳感器輸入，同時，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實際應用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。
SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標準型有兩路傳感器輸入，同時，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實際應用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。
在大型系統中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數據通過平均值，以達到更精確的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。
數字輸入可以通過外部信號來對讀數進行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監測儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件，可以通過電腦上進行調試安裝。軟件可以用來設置和存儲所有參數，包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel®文檔。同時，USB或以太網選項也添加通信協議中，以zui大程度方便不同用戶。
SQM160產品詳細介紹
便于使用
開啟速率和膜厚測量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數，然后關閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監測儀一定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了，檔板就會自動關閉，同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監測儀的99個存儲膜系進行設置。首先，選“program”鍵，進入菜單，然后，旋轉撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示，而設定的數據可以在輔助界面中找到。
高精度，低成本
標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數/秒的高精型。SQM160另一大優點是在整個工作范圍內，溫度穩定性可以達到2ppm。高精度和高穩定性的聯袂使得該款儀器具備了的性價比。
產品特點：
■ 雙通道（標準型），四通道可選
■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出
■ 高精度: 0.03Hz at 10個讀數/s
■ RS-232 接口, USB 或以太網可選
產品規格
QCM傳感器輸入 標準型: 2;路 可選: 4路
頻率范圍 1-10 MHz
頻率分辨率 標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
頻率穩定性 在 0º to 50ºC，總計± 2 ppm
可選擇的測量周期 0.10 to 2 sec （每級增量0.05 sec）
測量選擇 1 to 20 readings
存儲膜系 99
模擬輸出 2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚
數字輸入/輸出 2 路數字輸入, 4路繼電輸出
數字接口 標準型: RS-232
可選: USB or 以太網
電源 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 標識 Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安裝支架 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x 197mm （3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4"）
重量 2.7 Kg （6 lbs）
Windows軟件（included） 提供遠程安裝和操作指導，數據錄入功能
訂貨信息
附件
782-900-008 單臺SQM-160 19"安裝支架
782-900-014 雙臺SQM-160 19"安裝支架
782-502-062 4傳感器輸入擴展卡
（將標準型2路擴展到6路）
782-900-042 高分辨率選件
（此項需在工廠中完成安裝）
782-900-040 USB選擇卡
782-900-041 以太網選擇卡
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