臭氧發生器滅菌效果主要取決于以下6個因素:

臭氧發生器在氣相條件中，臭氧殺滅微生物的效果，取決這幾個主要因素：

①臭氧閥值濃度，即當臭氧空氣濃度在達到此濃度要求時，才能具有殺滅微生物的能力；

②微生物種類；

③滅菌處理時間；

④臭氧分布方式；

⑤空間內的溫度和濕度條件；

⑥室內墻面、頂棚、地板及其他裝飾材料的還原性影響等。

氣相條件下，臭氧對微生物的殺滅效果是有區別的，經實驗證明，臭氧對人、動物的致病菌、病毒具有很強的溶菌性殺滅作用。

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