臭氧的氧化能力很強，臭氧的氧化還原電位僅次于氟，比過氧化氫、高MENG酸鉀等都高。此外，臭氧的反應產物是氧氣，所以它是一種高效清潔的強氧化劑。
 

　　臭氧發生器脫硝的原理在于制造的臭氧可以將難溶于水的NO氧化成易溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高價態氮氧化物。浙江大學王智化等人對臭氧同時脫硫脫硝過程中NO的氧化機理進行了研究，構建出O3與NOX之間65步詳細的化學反應機理，該機理比較復雜。

　　煤炭作為主要能源物，其燃燒過程排放的SO2、NOx等污染物的總量很大，會造成嚴重的大氣污染，危害人類健康。對SO2的控制，目前較為成熟的技術是石灰石—石膏法，脫除效率可達95%以上。此外還有爐內噴鈣脫硫、電子束法脫硫等技術。對NOx的控制分為兩類，一類是控制燃煤過程中NOx的生成，主要有低氧燃燒法、兩段燃燒法和煙氣再循環法等。另一類是通過物理化學方法進行脫除，主要有催化、吸收、吸附、放電等。其中廣泛應用的是選擇性催化還原法(SCR)，脫除效率達90%以上。隨著國家對火電廠污染物排放的要求越來越嚴格，同時脫硫脫硝已成為煙氣污染物控制技術的發展趨勢。目前國內外廣泛使用的是濕式煙氣脫硫和NH3選擇催化還原技術脫硝的組合。該技術的脫硫脫硝效率雖然高，但是投資和運行成本昂貴。其他的脫硫脫硝技術還包括等離子體法、催化法、吸附法等，但只有少數進入生產應用。
 

　　煙氣中NOx的主要組成是NO(占95%)，NO難溶于水，而高價態的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2和HNO3，溶解能力大大提高，從而可與后期的SO2同時吸收，達到同時脫硫脫硝的目的。臭氧作為一種清潔的強氧化劑，可以快速有效地將NO氧化到高價態。電子束法和脈沖電暈法雖然能夠產生強氧化劑物質，如·OH、·HO2等，但工作環境惡劣，自由基存活時間非常短，能耗較高。O3的生存周期相對較長，將少量氧氣或空氣電離后產生O3，然后送入煙氣中，可顯著降低能耗。目前利用臭氧進行脫硫脫硝在國外已有工程應用實例，在我國還處于探索階段。