產品特色

●  準確。流量校準具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。

●  高效。只要您打開62Q系列便攜式高壓氣體質量流量計，便能顯示您所選工藝設備中的實時流量、壓力和溫度讀數。

●  耐用。62Q系列便攜式高壓氣體質量流量計專為方便攜帶而設計，而且能夠抵抗墜落帶來的影響。

精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度          ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取值）

測量范圍                        0.1 ~ 99%滿量程

重復性                           ± 0.1%滿量程

質量流量零點漂移         ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                     ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移         ± 0.01%讀 數/ ℃溫差

                                     ± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                  一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM（）

測量范圍    2～99%滿量程

顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± 2 % 滿量程 精度升級見上段

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ± 0.2%滿量程

質量流量溫度漂移    0.02%滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質量流量壓力漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

響應時間    優于10 ms

預熱時間    < 1 s

標定工況    25℃ & 1 Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選低溫選項）

溫度精度    ± 0.75℃

充電溫度    0 ～ 45 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    2MPa表壓，進出口允許瞬時壓差500 KPa

操作壓力    80 KPa絕壓

壓力精度    ±0.5%讀數（讀數＞1 Atm），或±0.07 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸出信號    Micro-USB B（40 Hz at 19200 baud）

供電電壓    5 VDC （Micro - USB - B）

電氣接口    Micro-USB-B

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

續航時間    黑白屏 18小時，彩屏 5小時

材       質    303 & 302 不銹鋼， Viton®，硅橡膠，增強型玻璃，熱固性環氧樹脂，鋁，硅，金，玻璃。（可選主體鋁材質）

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）