BESTACE 9系列氣體質量流量計及控制器，是其5系列流量計的升級版，采用了316不銹鋼接液材質及17-4不銹鋼閥門材質，在獲得更高強度、潔凈度、耐用性能的同時，保持了5系列低價位、小體積等優點，同時，產品具有CE認證，且可選LCD藍色背光顯示屏，使得9系列產品在應用于設備配套、過程控制測試設備等工況的同時，還可用于大學、實驗室、流量校準等場合。
9系列產品也采用了熱式測量原理，因此具有熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點，且無需平方根修正。同時采取了毛細管取樣方式，具有極低的能耗。每臺設備出廠前都會按照客戶的氣體、量程，嚴格地按照NIST標準進行出廠校準，同時，比例調節閥嵌入在流體通道內，從而保證了精巧的體積。
技術參數：
量程：流量計5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材質：接液部位：316L不銹鋼；外殼：17-4不銹鋼
閥座及閥芯：17-4不銹鋼
密封材質：標配為氟橡膠（Viton）
可選丁納橡膠Buna，全氟醚橡膠KalRez
泄漏率：不超過1×10 毫升/秒，氦氣
環境溫度及介質溫度：0-60℃
精度：1%FS（包括線性精度）
量程比:100:1
響應時間：500ms
重復性：優于0.15%FS
壓力極限：1000PSIG
zui大壓降：流量計：250Pa
控制器：7-14KPa（500SCCM以下）
控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）
電源：24VDC@250mA（流量計）24VDC@350mA（控制器）
輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）
設定點信號：內置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）
電氣連接：9針D接口（9 Pin Sub D）
溫度影響系數：優于0.05%FS/℃
壓力影響系數：優于0.01%FS/PSI
標準溫度：21℃
標準壓力：760Torr
重量：流量計：440g 控制器：460g
訂貨選型：
請按照下面的選型表進行選型，此外，還需提供以下信息：
流量范圍
氣體類型
氣體濕度
工作溫度
工作壓力
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