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重慶摩爾水處理設備有限公司

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半導體超純水設備

參  考  價:面議
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更新時間:2021-12-31 13:27:14瀏覽次數:743次

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一、技術要求產水壓力:0


一、技術要求

產水壓力:0.4MPa

產水水質:按ASTM D5127-2013 E-1.1級的水質標準

                           產水水質標準

序號

名  稱

單  位

數據

備注

1

電阻率(25℃

MΩ.CM

182

 

2

TOC

μg/L

2

 

3

溶解氧

μg/L

10

 

4

蒸發殘渣

μg/L

0.5

 

5

在線顆粒/升(微米)

   

6

0.050.1

1000

在線監測

7

0.10.2

350

在線監測

8

0.20.5

100

在線監測

9

0.51.0

50

在線監測

10

1.0

20

在線監測

11

SEM顆粒檢測/升(微米)

   

12

0.10.2

700

 

13

0.20.5

400

 

14

0.51.0

50

 

15

10

30

 

16

細菌/100mL

   

17

100mL取樣

3

 

18

總硅

μg/L

3

 

19

溶解硅

μg/L

1

 

 

運行要求:年連續運轉8000小時

管閥材質:采用進口PVDF超純型管道閥門,熱熔對焊。

 

二、產品*性分析

 

設備回收率:EDI裝置回收率≥90%EDI濃水全部回流至廠區除鹽水系統原水箱。

設備控制:采用PLC+上位機全自動運行方式,同時可手動運行,系統帶自檢功能,聲光報警。系統運行參數可存儲,可打印。正常運行為自動,檢修為手動,可實現無人值守。系統運行實況可于在線流程模擬屏上實時顯示,如水箱液位的具體高度,增壓泵出口壓力,產水流量,EDI產水電阻率,產水流量,拋光混床產水電阻率、產水流量以及終端產水電阻率、在線監測微粒數等參數。

供水方式:超純水系統供水采用不間斷循環供水方式,回路設計背壓閥保持循環量。


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