真空蒸餾裝置一些化合物具有很高的沸點。要使這類化合物沸騰，是降低化合物沸騰時的壓力而不是提高溫度。一但壓力降低到化合物的蒸汽壓（在一定的溫度下），化合物就開始沸騰，蒸餾作用就可進行。這項技術被稱為真空蒸餾，且以真空汽化器的形式常見于實驗室。這項技術對于大氣壓下沸點超過其分解溫度的化合物是很有用的，在大氣壓下讓這類化合物沸騰的嘗試，都會使其分解。

使用

1. 安裝真空蒸餾的儀器時，必須選擇大小合適的橡皮塞，選用磨口真空蒸餾裝置。

2. 蒸餾液內含有大量的低沸點物質，需先在常壓下蒸餾，使大部分防物蒸出，然后用水泵減壓蒸餾，使低沸點物除盡。

3. 停止加熱，回收低沸物，檢查儀器各部分連接情況，使之密合。

4. 開動油泵，再慢慢關閉安全閥，并觀察壓力計上壓力是否到達要求，如達不到要求，可用安全閥進行調節。

5. 待壓力達到恒定合乎要求時，再開始加熱蒸餾瓶，精餾單體時，應在蒸餾瓶內加入少許沸石 （一般使用油浴，其溫度高于蒸餾液沸點的20～30℃，難揮發的高沸點物在后階段可高30～50℃）。6. 蒸餾結束，先移去熱源，待稍冷些，再同時逐漸打開安全活塞，等壓力計內水銀柱平衡下降時，停止抽氣，等系統內外壓力平衡后，拆下儀器，冼凈。