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蘇州道盛禾環(huán)保科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
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所 在 地蘇州市
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更新時間:2025-03-08 08:36:09瀏覽次數(shù):109次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線硅是地球上儲藏的材料之一,單晶硅也稱硅單晶,是電子信息材料中最基礎性材料,屬半導體材料類
硅是地球上儲藏的材料之一,單晶硅也稱硅單晶,是電子信息材料中最基礎性材料,屬半導體材料類。單晶硅主要用于半導體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。利用單晶硅的性質(zhì)制造生產(chǎn)工藝用超純水設備。
工藝流程
預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)
水質(zhì)標準
國家電子級純水標準
單晶硅純水機工藝流程
● 預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
● 預處理-一級反滲透-二級反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM) (新工藝)
● 預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥5MΩ.CM)(新工藝)
● 預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精密過濾器-用水對象 (≥5MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
單晶硅純水機水質(zhì)標準
國家電子級純水標準
單晶硅純水機設備要求
為達到符合標準的水質(zhì),盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設計上,取達到國家自來水標準的水為源水,再設有介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)(EDI電除鹽系統(tǒng))等。 系統(tǒng)中水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,具有更高的性價比和設備可靠性。
單晶硅純水機處理系統(tǒng)
①混床離子交換純化柱
②EDI裝置
③除熱原超濾膜
④紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器
⑤終端過濾器
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