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北京卓立漢光儀器有限公司
此系統是卓立漢光推出的針對半導體晶圓進行微操作、檢驗的通用開發平臺。系統中包括:半導體晶圓裝夾單元、半導體晶圓對位單元、機器視覺單元和微操作機械手單元,配套有完整的運動控制系統和機器視覺軟件。可以根據客戶不同的需求,實現對半導體晶圓進行裝夾、對位、轉印、清潔、檢驗等功能。
說明:
此系統是卓立漢光推出的針對半導體晶圓進行微操作、檢驗的通用開發平臺。系統中包括:半導體晶圓裝夾單元、半導體晶圓對位單元、機器視覺單元和微操作機械手單元,配套有完整的運動控制系統和機器視覺軟件。可以根據客戶不同的需求,實現對半導體晶圓進行裝夾、對位、轉印、清潔、檢驗等功能。
半導體晶圓微操作、檢驗設備特點:
系統參數:(本系列產品為設計規格,技術指標以最終發布內容為準)
指標 | 參數 |
機器視覺分辨率(μm) | 0.1 |
顯微鏡倍率 | 0.5~4.5 |
攝像頭分辨率 | 2048×1536 |
幀率(fps) | 15 |
攝像頭類型 | 單色 |
光源 | 單色同軸光源 |
Mark點識別重復性(μm) | 0.1 |
Mark點識別對位精度(μm) | <0.5 |
大行程X軸滑臺行程(mm) | 400 |
大行程Y軸滑臺行程(mm) | 200 |
大行程重復定位精度(μm) | 1 |
大行程運動分辨率(μm) | ±1 |
精密對位X軸滑臺行程(mm) | 10 |
精密對位Y軸滑臺行程(mm) | 10 |
精密對位Z軸滑臺行程(mm) | 20 |
精密對位線性維度單向重復定位精度(μm) | ±1 |
精密對位線性運動分辨率(μm) | 0.1 |
精密對位θZ軸滑臺行程(°) | 5 |
晶圓工位(個) | 2 |
晶圓真空吸附通道(路) | 4 |
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