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北京卓立漢光儀器有限公司
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平移滑臺采用粗調+微調結構，靈敏度優于0.5m旋轉滑臺靈敏度優于23.4穩定性高，具有較高性價比
特點：
平移滑臺采用粗調+微調結構，靈敏度優于0.5μm
旋轉滑臺靈敏度優于23.4″
穩定性高，具有較高性價比
| 型號 | UFP1A | UFP1B | UFP1C-L | UFP1C-R | UFP2T-L | UFP2T-R |
| 臺面尺寸(mm) | 60×60 | 45×45 | ||||
| 臺面厚度(mm) | 20 | 25 | 30 | - | ||
| 移動量 | 粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm | θx：±3°；θy：±3° | ||||
| 導向機構 | 線性滑塊導軌 | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱軸環 | |||
| 驅動 | 分厘卡 | |||||
| 主體材料及表面處理 | 鋁合金，黑色陽極氧化處理 | |||||
| 自重(Kg) | 0.28 | 0.32 | 0.4 | 0.64 | ||
| 靈敏度 | 粗調：≤10µm；精調≤0.5µm | θx：≤25.2″；θy：≤23.4″ | ||||
| 靜態平行度 | ≤60µm | - | ||||
| 運動平行度 | ≤10µm | - | ||||
| 運動直線度 | ≤3µm | - | ||||
| 水平負載(Kg) | 5 | 5 | 5 | 1.5 | ||
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