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青島芯笙微納電子科技有限公司
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MFC-UT系列質量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業內流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發的一款緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，對比傳統的氣體流量控制器，本產品采用集成化設計，使得該產品的體積大幅度縮小到傳統產品的1/4，可以在小體積、便攜式設備中發揮更大優勢。
MFC-UT系列質量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業內流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發的一款緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，對比傳統的氣體流量控制器，本產品采用集成化設計，使得該產品的體積大幅度縮小到傳統產品的1/4，可以在小體積、便攜式設備中發揮更大優勢。
產品應用于：半導體加工、分析儀器、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過程控制、氣體混合配比
產品特點：
溫度和壓力不敏感
設計勁湊，可安裝任意位置
的零點穩定性
超快的響應速度
良好的重復性和再現性
采用液晶觸控顯示和控制
配備比例電磁閥
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![[4]便攜式MFC-UT系列質量流量控制器](https://img68.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd2c64181b0a9479ef3fd740223e48c6a8927e91c758080566f05357da1c822006e_480_347_5.jpg)
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