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TESCAN S9000G FIB-SEM雙束電鏡

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產(chǎn)品簡介

TESCAN S9000G FIB-SEM雙束電鏡是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng)，適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，這些任務(wù)要求設(shè)備具有超高分*的離子光學(xué)系統(tǒng)和納米加工能力。

詳細(xì)介紹

TESCAN S9000G 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng)，適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，這些任務(wù)要求設(shè)備具有超高分*的離子光學(xué)系統(tǒng)和納米加工能力。TESCAN S9000G的 Triglav™ 型 SEM 鏡筒具有超高的分辨率，特別是在低電壓下；鏡筒內(nèi)探測器系統(tǒng)具有電子信號過濾能力，為獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度翻開了全新的篇章。TESCAN S9000G 的 Orage™ 型 FIB 鏡筒提供不僅為納米加工提供了超高精度，還具備很高的離子束流，因此可以滿足大體積加工和分析的需求。

出色的低電壓離子束分辨率和性能使得 TESCAN S9000G 有能力制備小于 20 nm 的、半導(dǎo)體器件超高質(zhì)量的超薄 TEM 樣品。此外，高達(dá) 100 nA 的大離子束流可以對生物樣品和材料進(jìn)行位置的、大體積 FIB-SEM 逐層掃描，圖像也具有出色的襯度。TESCAN S9000G 使用了全新的 Essence™ 軟件，軟件用戶界面友好，可以滿足各類應(yīng)用需求，可定制的軟件布局以及自動化的樣品制備功能，大限度地提升了操作便捷性和工作效率。

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