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MA3000大平臺工業顯微鏡

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更新時間:2023-10-16 12:10:59瀏覽次數:610次

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產品簡介

產品名稱:MA3000大平臺工業顯微鏡產品描述詳細描述:儀器適用范圍:伴隨著半導體工業的發展

詳細介紹

產品名稱:MA3000大平臺工業顯微鏡

產品描述

詳細描述:

儀器適用范圍:

伴隨著半導體工業的發展,我國半導體圓晶生產已從較小的尺寸發展到現在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應大芯片檢測而開發的新產品。MA3000配備反射照明光學系統,反射式暗場和偏光系統,使它可用在相同尺寸的半導體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業器件的檢驗場合。

儀器特性:

  1. 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺
  2. 視場數∮22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
  3. 落射光明場、暗場及偏光可快速轉換
  4. 機架經計算機《有限元》分析處理,有高穩定性及抗振性
  5. 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導軌,使儀器具有穩定的使用精度及高的可靠性
  6. 采用人機工程學的設計理念,調焦手輪前置,使之操作舒適。

高質量的光學系統,確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質量。

無限遠校正像差長距平場消色差物鏡

MA3000配用了本公司開發的視場數 22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優良的成像質量。物鏡的超長工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡

在反射照明光路中,明場、暗場和偏光可快速轉換

MA3000配有明場和暗場共用的物鏡,只要拉動拉桿,即可明場暗場轉換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉換,操作十分方便。

采用完善的柯拉照明系統

MA3000采用完善的柯拉照明系統,在整個視場內照明均勻。

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