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技術文章

壓電陶瓷的切割、研磨、拋光工藝

閱讀:34發布時間:2024-11-30

  壓電效應
 
  某些材料在機械應力作用下,引起內部正負電荷中心相對位移而發生極化,導致材料兩端表面出現符號相反的束縛電荷的現象,稱為壓電效應。反之,當這類材料在外電場作用下,其內部正負電荷中心移位,又可導致材料發生機械變形,形變的大小與電場強度成正比。具有這種性能的陶瓷稱為壓電陶瓷,它的表面電荷的密度與所受的機械應力成正比。
 
  壓電陶瓷
 
  作為壓電陶瓷的原材料,在晶體結構上一定是不具有對稱中心的晶體,如氧化鉛、氧化鋯、氧化鈦、碳酸鋇、氧化鈮、氧化鎂、氧化鋅等。常用的壓電陶瓷有鈦酸鋇、鈦酸鉛、鋯鈦酸鉛以及三元系壓電陶瓷。其結構類型有鈣鈦礦型、鎢青銅型、焦綠石型、含鉍層結構等。
 
  壓電陶瓷制作的一般工藝流程:
 
  壓電陶瓷是新型功能電子材料,隨著材料及工藝的不斷研究和改良,在傳感器、換能器、無損檢測和通訊技術等領域已獲得了廣泛的應用。要實現壓電陶瓷的優異性能,就必須加工具有一定形狀精度和尺寸精度的元件。因此,研究壓電陶瓷的加工技術,特別是精密、超精密加工技術具有重大的應用價值及現實意義。
 
  切割
 
  粘樣。使用加熱平臺、石蠟、樹脂陶瓷塊將樣品固定在載物板上。對于圓柱狀樣品以側面粘接時,要在兩側加石墨夾立粘貼,以確保切割時樣品的穩固。
 
  裝卡對刀。無論使用線鋸式或是鋸片式切割機,都需要調整切割刀口的位置。且大部分切割機都可實現切割面良好的垂直度對刀。例如STX-202小型金剛石線切割機可通過360°旋轉平臺及二次裝卡的方法,對樣品進行高度平行和垂直調整。
 
  調整參數。根據樣品的相關參數,設置切割機的運行參數,以求獲得切割。
 
  研磨拋光
 
  對于需要粘樣的薄片,注意表面的平整度,并將薄片邊緣多余的石蠟清理干凈,以避免與磨料發生交叉污染,影響磨拋效果。同時,為了去除研磨盤上可能附有其他粒度的磨料及雜物,每用一種磨料都先要進行修盤,但更建議每一種粒度的磨料對應一盤,以確保的磨拋效果。磨料選擇剛玉即可,按W28、W14、W7的順序進行逐步研磨。

磨拋料

剛玉

剛玉

剛玉

金剛石懸浮液

粒度

μm)

W28

W14

W7

 3

壓力

kg)

1.69

1.69

1.69

 1.69

轉數

rpm)

30

30

30

 110

時間

min)

20

20

20

 30

 
  對于壓電陶瓷的拋光多選用聚氨酯拋光墊、合成革拋光墊,配用3μm金剛石懸浮液。注意拋光墊粘貼時要均勻地攤開,以便消除粘合面的氣泡,保證拋光面的平整度。并且在正式拋光使用前,需用清水清洗后進行修墊,避免拋光墊的棱角過于尖銳,損傷拋光面。此外,要想獲得更小的表面粗糙度,可在完成拋光后,更換新的拋光墊,使用1.5μm的金剛石懸浮液繼續拋光。
 
  此工藝流程不僅適用于壓電陶瓷的切磨拋,通過改變相應的參數設置,可以用于其他陶瓷的切割、研磨、拋光。
 

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