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武漢嘉儀通科技有限公司
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| 產地 | 國產 |
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RTP快速退火爐 嘉儀通晶圓真空高溫退火設備可以用于金屬電極合金化、硬質合金薄膜去應力退火、石墨烯生長、器件退火RTP、材料再結晶、晶化、熱氧化RTO、熱氮化RTN、ITO膜致密化、應用于超凈間、薄膜CVD生長、搭載電學測試模塊變溫電阻測量、等離子注入/接觸退火、太陽能電池片鍵合、低介電材料熱處理。
RTP快速退火爐 嘉儀通晶圓真空高溫退火設備可以用于金屬電極合金化、硬質合金薄膜去應力退火、石墨烯生長、器件退火RTP、材料再結晶、晶化、熱氧化RTO、熱氮化RTN、ITO膜致密化、應用于超凈間、薄膜CVD生長、搭載電學測試模塊變溫電阻測量、等離子注入/接觸退火、太陽能電池片鍵合、低介電材料熱處理。
產品技術參數
| 型號 | RTP-3-01系列 |
| 溫度 | 1200℃ |
| 升溫速率 | 50℃/s |
| 溫度均勻性 | ≦1%設定溫度 |
| 溫度控制 | 選用工業級溫控器，控溫精度±0.1℃ |
| 溫度傳感器 | 標準K型熱電偶 |
| 降溫速率 | 1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷卻） |
| 樣品尺寸 | W20 x L20 x T2 (mm) |
| 主機尺寸 | W420X L320X H220 (mm) |
| 主機重量 | 20.5kg |
RTP快速退火爐 嘉儀通晶圓真空高溫退火設備 產品特點：
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s，特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率，特定條件下可達30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業級溫控器進行PID精確控溫，目標溫度與設定溫度曲線一致性高，可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮氣、氬氣等）。同時，通過選配真空泵，可以在真空條件下進行退火，真空度可達10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時，可以結合相關測試方法進行原位測試分析。
高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統，多方位保障儀器使用安全。
●國產退火爐：擁有自主研發技術和制造能力，能快速反應客戶售后需求。
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