臭氧滅菌的優點：
臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌*，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對霉菌也有*的殺滅作用。O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能不*、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點。化學熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。
臭氧：高效（*）、高潔凈性（自行分解為氧） 、操作簡單。
主要用途：食品加工車間殺菌、食品加工設備消毒，冷庫消毒，生產車間空氣滅菌凈化，蔬菜水果加工、貯藏及防霉保鮮礦泉水殺菌保質以及生產用水、生產工具容器、包裝物等的消毒。
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