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廣州市嘉晟精密科技有限公司
標準的XL-80激光干涉儀可以高達50kHz的頻率采集動態數據。QuickViewXL軟件包簡單易用,有直觀的界面,能夠記錄、查看和保存動態數據。
激光干涉儀XL-80
標準的XL-80激光干涉儀可以高達50kHz的頻率采集動態數據。QuickViewXL軟件包簡單易用,有直觀的界面,能夠記錄、查看和保存動態數據。
系統性能 | ||
移動速度 | 4m/s* | |
動態采集頻率 | 10Hz-50kHz** | |
預熱時間 | <6分鐘 | |
精度范圍 | 0°C-40°C | |
環境傳感器 | 范圍 | 精度 |
材料溫度 | 0°C-55°C | ±0.1°C > |
空氣溫度 | 0°C-40°C | ±0.2°C |
氣壓 | 650毫巴-1150毫巴 | ±1毫巴 |
相對濕度(%) | 0%-95%非冷凝 | ±6%相對濕度 |
*1.6m/s(80nm正交);0.2m/s(10nm正交) **20MHz,正交模式 |
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