硅片表面線痕深度測試儀(HS-SRT-301)可用于測試硅片的表面線痕深度，具有便于攜帶、觸摸屏便捷操作、液晶顯示、節能等優點，同時內置打印機和充電電池，所有設計均符合JIS,DIN,ISO,ANSI等標準。

產品特點：
■ 便于操作的觸摸屏
■ 內置打印機和充電電池
■ JIS/DIN/ISO/ANSI兼容36個評價參數和3個分析圖表
■ 探針行程達350mm
■ 具有統計處理功能
■ 帶有SURFPAK-SJ軟件的PC連接端口
■ 自動休眠功能可有效節約能源
■ 高分辨率液晶屏顯示粗糙度值
■ 性價比高
■ 菜單式快速方便設置
■ 高分辨率液晶LCD顯示

技術指標：
■ 檢測器測試范圍：350µm (-200µm to +150µm).
■ 檢測器檢測方式：微分感應.
■ 檢測器測力：4mN 或 0.75mN（低測力方式）
■ 顯示: 液晶顯示
■ 數據輸出: 通過RS-232C端口/SPC數據輸出
■ 電源: 通過AC適配器/電池(可更換)
■ 充電時間：15小時
■ 電池使用時間：最多可測600次
■ 檢測器尺寸(WxDxh)：307×165×94mm
■ 檢測器重量：1.2kg
■ 驅動部尺寸(WxDxh)：115 x 23 x 26mm
■ 驅動部重量：0.2kg

典型客戶：
美國，歐洲，亞洲及國內太陽能及半導體客戶。