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NE-PE10小型真空等離子體表面處理儀

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更新時間：2023-03-17 18:24:26瀏覽次數(shù)：787次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：NE-PE10是一款小型真空等離子體表面處理儀，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量···

詳細(xì)介紹

等離子源-2.png

NE-PE10是一款小型真空等離子體表面處理儀，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。裝置的運(yùn)行過程如下：將要被清洗的工件送人真空室并加以固定，啟動運(yùn)行裝.置，開始排氣使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn).真空度。向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體并使其壓力保持在100Pao根據(jù)清洗的材質(zhì)不同可分別選用氧氣、氫氣、氯氣1或氮?dú)獾葰怏w。在真空室內(nèi)電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生出等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體把被處理工件籠罩住并開始清洗，一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。清洗完畢后切斷高頻電壓并將氣體及氣化的污垢排出,同時向真空室內(nèi)鼓人空氣并將氣壓升至--一個大氣壓。

NE-PE10等離子體表面處理儀功能特點(diǎn)：

?耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置

?雙層托盤設(shè)計，可調(diào)節(jié)托盤間距

?8K 鏡面不銹鋼腔體，密封性

?可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器，與網(wǎng)絡(luò)自動匹配(只對真空泵在系統(tǒng)外部)

?直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實(shí)時監(jiān)控。

?方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過程中使用的要求

?支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體

?通過聯(lián)鎖門或可移動的板

?兩個標(biāo)準(zhǔn)的電子質(zhì)量流量控制器的氣體控制，有兩個額外控制器的選擇 ( 4 個)

等離子體表面處理儀產(chǎn)品參數(shù)：

序號	項(xiàng)目	型號規(guī)格	參數(shù)
1	等離子發(fā)生器	功率	0-300W可調(diào)
		抗輻射干擾高頻匹配器	自動阻抗匹配，遠(yuǎn)程通信控制
		頻率	13.56MHz
2	真空反應(yīng)腔室	腔體材質(zhì)	進(jìn)口 316 不銹鋼，級密封
		腔體容積	10L
		電極數(shù)量	2個鍍金鋁合金專用電極
		電極間距	50mm
3	氣路控制	氣體流量控制器	浮子針閥流量控制器， 0-500ML
3	氣路控制	氣路數(shù)量	最小 2 路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣，四氟化碳等
4	放電電極架	內(nèi)置水平式電極	200（W）×200（D）mm
4	放電電極架	載物托盤	L*W :200（W）×200（D）mm
5	整機(jī)參數(shù)	整機(jī)功率	1000W
5	整機(jī)參數(shù)	外形尺寸	長寬高： 550mm(L)×550mm(W) ×650 mm(H)