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多角度激光橢偏儀SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器,對測量薄膜厚度,折射率和吸收系數有非常出色的精度
多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器,對測量薄膜厚度,折射率和吸收系數有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底)
l 超高精度和穩定性,來源于高穩定激光光源、溫度穩定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器
l 高精度樣品校準,使用光學自動對準鏡和顯微鏡
l 快速簡易測量,可選擇不同的應用模型和入射角度
l 多角度測量,可支持復雜應用和精確厚度
l 全面的預設應用,包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域
技術規格
l 激光波長632.8 nm
l 150 mm (z-tilt) 載物臺
l 入射角度可調,步進5º
l 自動對準鏡/顯微鏡,用于樣品校準
l Small footprint
l 以太網接口連接到PC
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