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科邁斯科技股份有限公司


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橢圓偏振光譜儀

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產品型號Semilab SE-2000

品       牌

廠商性質其他

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更新時間：2025-02-11 09:32:41瀏覽次數：105次

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產品簡介

特點規格量測厚度,反射率,吸收率,表面結構量測波長632

詳細介紹

  • 特點 規格
    量測 厚度, 反射率, 吸收率, 表面結構
    量測波長 632.8 nm(He-Ne 雷射)
    量測時間 100 ms~2 s
    量測厚度 2 nm~6000 nm
    樣品平臺 200 mm (自動 Rho/Theta)
    反射角檢測 自動 / 手動
    角度 45° – 90° / 12° – 90°
    變化角度 5° / 1°
    重復性 0.01°
    準確度 Psi：0.002°
    Delta：0.002°
    厚度精確度 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si)


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