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科邁斯科技股份有限公司
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1.搭載高輸出超短脈沖雷射(皮秒雷射)來實現高生產性，藉由超短脈沖雷射(皮秒雷射)加工來實現熱影響較少的加工
| 分類 | 項目 | 規格 | 備注 |
|---|---|---|---|
| 加工平臺 | 行程 | 400×400mm | 滾珠螺桿驅動 |
| 加工范圍 | 400×400mm | ||
| 速度 | 250mm/sec | 15000mm/min | |
| Ｚ軸 | 行程 | 150mm | |
| 速度 | 200mm/sec | 12000mm/min | |
| 外形 | 設置空間 | 1500×1500×2200mm | 可用電梯搬送 |
| 重量 | 搬送 | 1900Kg | |
| 定位 | 10μ以下 0.05μm | 搭載光學尺 | |
| 控制裝置 | 定位（無輪郭指令） | 搭載Pitch誤差補正功能 | |
| 圖像處理 | 相機２式 | 加工行程全局檢測 | 200萬畫素、黑白 |
| 出力監視器１ | 檢查雷射輸出 | 于雷射發振器出口來計測 |
| 分類 | 項目 | 規格 | 備注 |
|---|---|---|---|
| 高度檢測傳感器 | 雷射傳感器 | 檢測薄膜材料高度用 | |
| 觀察監視器 | CCD監視器 | 檢視加工點周遭 | |
| 出力監視器２ | fΘLens之后的輸出測定 | 檢測薄膜材料高度用 | |
| 集塵裝置 | 2.2KW集塵機 | PushPull方式 | |
| 自動化對應 | 個別對應 |
| 分類 | 項目 | 規格 | 備注 |
|---|---|---|---|
| 高度檢測傳感器 | 雷射傳感器 | 檢測薄膜材料高度用 | |
| 觀察監視器 | CCD監視器 | 檢視加工點周遭 |
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