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北京塞爾瑟斯儀表科技股份有限公司
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V10FD-M/H中高壓型MFC/MFM●通用型,適用于10MPa以下各種氣體●響應速度100ms,無需預熱,上電即可操作V10FD中高壓型流量計●無熱漂移,長期穩定性0
● 通用型,適用于10MPa以下各種氣體 
● 響應速度100ms,無需預熱,上電即可操作 V10FD中高壓型流量計
● 無熱漂移,長期穩定性0.1%F.S/年
● 數模兼容,可使用二次表或計算機控制和顯示流量
● 內置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈
● 內置4種氣體,無比熱容附加誤差,不影響精度
V10FD-M/H采用全不銹鋼傳感器，適合于測量各種與316
不銹鋼兼容的氣體。該產品為模擬和數字兼容型設計：可通
過模擬型二次表或PLC進行設定和顯示瞬時流量；也可通過
數字接口直接與計算機進行通訊。具有通用于模擬型控制系
統和數字型控制系統的特點。
V10FD-M/H采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量流量測
量原理。多氣體多量程的設計便于用戶現場配置流量計：通
過撥碼開關可以現場選擇四種測量氣體，每種氣體有3種校
準量程，六個LED指示燈可以較直觀的顯示V10FD-M/H的
各種工作狀態。如果需要對氣體流量進行控制時,還可以加裝
電磁比例調節閥和內置PID調節功能。
與傳統熱式氣體質量流量控制器/計不同,當使用氣體轉換系
數時,V10FD-M/H沒有附加的比熱容誤差,所以,即使測量氣體與
出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
產品應用 0FD中高壓型控制器
真空 半導體 航空航天 工業制造 石油化工
冶金煤炭 環境分析 食品藥品 生物科技
V1技術參數
技術指標: V10FD-M/HC質量流量控制器 V10FD-M/HM質量流量計
量程范圍: 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
測控范圍: 控制器閥控范圍50:1 流量計量程比100:1
準確度: 流量：±1.5%讀數±0.2%滿量程
可選±0.8%讀數±0.2%滿量程
壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃
線 性: ±0.5%F.S
重復精度: ±0.2%F.S
響應時間: 100ms 10ms
數字量: RS232/485，MODBUS協議
模擬量: 0～5V、4～20mA、1～5V
供 電: 24V/±15V可選
工作溫度: 0～50℃
工作壓力: 工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓: 中壓3MPa，高壓10MPa
電氣連接: DB15孔
漏 率: 1×10-9SCCSHe
溫度系數: ±0.015%F.S/℃
底座材質: 316L不銹鋼
密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接 頭: VCR1/4;swagelokφ6
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