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上海濟圣閥門有限公司
真空法蘭球閥-氣動球閥(雙動)airtoopen,airtoclose閥尺寸:1"to2"法蘭:KF(NW)壓力范圍:2atm~1x10-4Torr泄漏率:9x10-7mbar
真空法蘭球閥 - 氣動球閥 (雙動)
air to open, air to close
閥尺寸: 1" to 2"
法蘭:KF(NW)
壓力范圍: 2atm ~ 1x10-4 Torr
泄漏率: 9x10-7 mbar.l/s
材質:316S.S. , PTFE
溫度 :Cylinder 80°C / Body 150°C
空氣壓縮連接頭: KF25-2x 1/8"NPT , KF40~KF50-2x 1/4"NPT
選項:限位開關,電磁閥 電磁品牌:日本KANEKO,中國臺灣XINWYANG,美國ASCO
氣動執行器:氣動執行器分為雙作用式和單作用式(彈簧復位),兩個分體氣缸,雙活塞,拔叉式傳動結構,容易制造大尺寸缸體,輸出扭矩大,動作靈活平穩;氣缸體內壁和活塞軸鍍硬鉻,有很好的抗磨性;所有滑動部件之司配有無油潤滑軸承和導間壞以降低摩擦系數,延長使甩壽命。
兩位五通電磁閥通常與雙作用氣動執行機構配套使用,兩位是兩個位置可控:開-關,五通是有五個通道通氣,與氣源連接,兩個與雙作用氣缸的外部氣室的進出氣口連接,兩個與內部氣室的進出氣口接連,具體的工作原理可參照雙作用氣動執行機構工作原理。
Model No. | KF50BV151P2 | KF40BV130P2 | KF25BV107P2 |
Parts No. | 3201143101133 | 3201133101133 | 3201113101133 |
A | 246 | 216 | 173 |
B | 151 | 130 | 107 |
C | 99 | 88 | 71 |
D | 51.5 | 48 | 41.5 |
Connector | KF50 | KF40 | KF25 |
Size | 2" | 1.5" | 1" |
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可維修應用于各種制程的真空閥:
CVD / PVD / Etch
可維修安裝于各廠牌設備的真空閥:
AMAT / TEL / Varian / LAM / EATON
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