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漢鐘PS系列干式螺桿真空泵

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產(chǎn)品簡介

漢鐘PS系列干式螺桿真空泵漢鐘PS系列干式螺桿真空泵主要特點(diǎn):漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵,因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短,最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象

詳細(xì)介紹

漢鐘PS系列干式螺桿真空泵
漢鐘PS系列干式螺桿真空泵主要特點(diǎn):
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵,因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短,最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳,泵浦性能
Hanbell干式螺桿真空泵,轉(zhuǎn)子密封線形,轉(zhuǎn)子密封性佳,轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果,由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大,泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡單,故障率低,維護(hù)容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對(duì)轉(zhuǎn)子相互嚙合達(dá)到密封效果,結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì),降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純,拆卸維修也比較容易,因此能縮短維修時(shí)程,降低維修費(fèi)用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作,遠(yuǎn)端監(jiān)控,保護(hù)周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),方便使用者對(duì)泵應(yīng)用狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整,在真空泵產(chǎn)生問題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具,使用者不需到現(xiàn)場就能夠了解真空泵的運(yùn)行狀態(tài)。

漢鐘螺桿真空泵典型應(yīng)用:
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery
機(jī)型Model 單位Unit PS80 PS160 PS180
抽氣速度
Pumping Speed
(50Hz/60Hz)
l/min 1300/1600 2150/2600 2500/3000
m3/hr 80/96 140/156 150/180
Cfm 48/57 82/92 88/105
壓力
Ultimate Pressure
Torr ≤7.5*10-3
mbar ≤1*10-2
Pa ≤1
馬達(dá)
Motor
頻率Frequency Hz 50/60
電壓Voltage V 220-440
額定功率
Rated Power
Hp 4 6 6
kW 2.98 2.98 2.98
連接
Connection
進(jìn)氣口Inlet NW50
排氣口Outlet NW40
冷卻水
Cooling
Water
流量Min. Flow l/min 3-7
溫度temperature 18-30
壓力Pressure Mpa 0.2-0.4
接頭Connection RC 3/8"
氮?dú)?br /> N2 壓力Purge Pressure MPa 0.15-0.2
流量Purge Flow Slm 0-60
接頭Connection Swagelok 1/4"
尺寸Dim. 長×寬×高L×W×H mm 814*380*663 895*405*678 920*425*650
重量Weight Kg 450 300 320
噪音Noise dB(A) ≤68 ≤70 ≤70
系統(tǒng)漏率
System Max. Leak-rate
mbar.l/s 1*10-5
室溫操作范圍Operation Temp. 5-40
操作濕度Operation Moisture RH 90%以上

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