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GM50A和GM51A數字控制質量流量控制器

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更新時間：2023-10-20 12:33:05瀏覽次數：285次

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產品簡介

多氣體，多量程，金屬密封，50-50,000sccm的質量流量控制器GM50A和GM51A數字控制質量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細介紹

多氣體，多量程，金屬密封，50-50,000 sccm的質量流量控制器

GM50A和GM51A數字控制質量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點進行快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。數字校準可在校準氣體上產生設定點精度的1％。

· 流量從5到50,000 sccm

· 金屬密封，帶特氟龍閥塞

· 多種數字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0％

· 少于750毫秒的建立時間

技術指標

控制范圍	滿量程的2％至100％	進氣壓力系數	<讀數的0.02％/ psi
滿量程流量范圍	5-50000 sccm（相當于N2）	典型建立時間	<750毫秒，通常在滿量程的5％以上
入口壓力	150磅/平方英寸	熱身時間	30分鐘
正常工作壓力差	10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid	工作溫度	10°C至50°C
耐壓	1000磅/平方英寸	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結
爆破壓力	1500磅/平方英寸	貯存溫度	-20°至80°C
典型精度	20％至100％滿量程時為設定值的±1％，2％至20％滿量程時為滿量程的±0.2％	外部泄漏完整性	<1 x 10 ^-09（scc / sec He）
重復性	讀數的±0.3％	封閉閥的泄漏完整性	在大氣壓力為40 psig時高達10K閥門
解析度	滿量程的0.1％	濕材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，鎳，KM45
零溫度系數	<滿量程的0.05％/°C	重量	3磅（1.4公斤）
跨度溫度系數	<0.08％的讀數/°C	合規	CE認證

特征

多種數字和模擬接口選擇

GM50A數字控制MFC具有模擬或數字I / O。數字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點提供快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。GM50A的模擬和數字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。