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主動隔振系統（電子顯微鏡、半導體設備專用）

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產品型號αL4X-911R1

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更新時間：2024-04-20 12:04:13瀏覽次數：212次

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上海良允科學儀器有限公司

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產品簡介

日本特許機器株式會社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產品的制造商，一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導體展示會上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩定，堅固耐用的防振產品、振動分析儀器和各行業防振設備，以滿足各領域不同產業的不同需求

詳細介紹

αL4X-911R1主動式隔振平臺是結合了空壓（低頻）和線性馬達（高頻）的兩種優點，專為掃描電子顯微鏡而設計的高精密隔振平臺。

本主動隔振系統可將影響儀器設備正常工作的安裝場地的細微振動，在所有頻率范圍內予以全面衰減而不降低儀器設備本身具有的各項性能。

αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動，通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制，由氣動和線性馬達執行器來實現振動衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。

技術參數：

名稱	技術參數和指標
主動隔振平臺	標準外形尺寸：902×1102×152（浮起時155）mm 其他尺寸可定制
主動隔振單元	內含加速度傳感器，位移傳感器及空氣伺服閥。
隔振范圍	0.5Hz~100Hz
隔振效果（值）	0.5Hz~1Hz：≤-20dB
	1Hz~10Hz：-20dB ≤-40dB
	10Hz以上：≥ -40dB
加速度傳感器	頻率范圍：DC-400Hz
	最小分辨率：≤1*10-6m/sec2
	耐沖擊參數：1000m/sec2
位移傳感器	最小分辨率：≤3um
位移傳感器	行程范圍：1-5mm
控制器	輸入/輸出控制信號采樣頻率
	加速度：2000Hz 位移：125Hz
	分辨率輸入：18bit 輸出：16bit