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多層/腔無塵無氧烘箱

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產品簡介

普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤…

詳細介紹

多層/腔無塵無氧烘箱
一.概述:
普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。

二、產品主要技術參數:
名稱及型號:多層/腔無塵無氧烘箱HSQMO-6D
設備特點:可對接MES系統
內膽為SUS304不銹鋼滿焊密封結構,防止氣體進入絕緣層;
表面噴塑處理保證了設備的抗腐蝕能力;
門密封設計保證設備在300℃高溫運行時完整的密封效果;
大門與加熱器/風門互鎖功能。
可連電腦,實現同時監測與控制多臺設備
歷史數據、歷史操作,歷史報警數據查詢,記憶操作步驟,操作便捷!
智能化多段可編程控制,真正實現復雜的試驗過程自動控制和運行

主要技術參數

工作尺寸:W500×H500×D500*6
溫度范圍:室溫+20℃~300℃
均勻度:±1.5%(空載)
均勻度:±2%(滿載)
潔凈等級:Class100級
含氧量:<=20PPM
升溫速度:常溫~+250℃,升溫速率:0~7℃/min,升溫斜率程序可控
降溫速度:降溫斜率程序可控,250~+120℃,2℃/min以內可以設定,120~70℃,降溫時間<=50min,
溫控器:日本優易控控制模組+PC界面

三、箱體結構:
1.烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方。
2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵。
3.箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵。
4.內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產生PARTICLE。
5.中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
6.保溫材料:超細玻璃棉;
7.電熱器:采用進口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器。
8.潔凈度:烤箱內部均采用無塵化配件及材料。

四、工作室的氣流設計
1.采用特殊設計,滿足內腔Class100潔凈標準;
2.排氣口:3"φ(附自動啟閉風門),以達到強烈循環效果而降溫,排風加冷阱。
3.進氣口:加附N2流量計控制進氣量。入氣口:10mm
4.壓縮氣體過濾器,可把氣體過濾到CLASS100,凈化氣體流量:300L/分鐘。

五、可靠的測控系統
溫控裝置:智能控制系統,日本優易控(可聯網,對接MES及SECSGEM) 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯:可預編120個程式,每個程式可編99段,共1200段;歷史數據查詢(數據可以通過USB接口導出) ;三點溫度記錄;溫度測量:采用特制鍇裝鉑電阻

六、完善的安全保護措施:
漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//欠相保護//電熱器過電流保護裝置//馬達電流過載保護//機臺異常時蜂鳴器警示//門安全開關//三色指示燈

產品參考圖:


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