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大連海璐科技有限公司
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產品概述
MFC800系列氣體質量流量控制器
產品概述
MFC800系列氣體質量流量控制器，為工業和科學研究領域長期可靠工作而設計。利用熱擴散原理及PID控制原理，測量和控制小管道的氣體質量流量輸出，不需要溫度和壓力補償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應用。
產品特點
☆用于多種氣體質量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等
☆測量范圍：從0-5sccm 至 0-1500slm
☆精度：1.0%F.S.
☆量程比：最小100:1
☆重復性：0.25%
☆響應時間：1.0S
☆過程溫度：0-50℃
☆過程壓力：0-8MPa
☆供電：24VDC
☆輸出：0-5V,4-20mA,RS232
☆管道材質：316L
☆連接標準：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸
產品應用
l 實驗室，泄漏檢測
l 醫學，氣體合成
l 科學研究，過程控制
l 制藥，半導體工業
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