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5410系列 強腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2023-03-15 19:36:13瀏覽次數(shù):206次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m3/s以下

詳細介紹

性能參數(shù)

5410質(zhì)量流量計

量程(N2)

10SCCM-20SLPM(另外50SLM,)

精度

±1.0%FS

重復(fù)性

±0.2%FS

響應(yīng)時間

1秒以內(nèi)

耐壓

1.0Mpa

進口壓力

O.5Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m3/s以下

溫度范圍

5-45

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316L

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標配1/4UJR

選配1/8UJR

重量

約800g


電氣連接

針腳/顏色

定義

1針腳/棕色

2針腳/白色

0-5V輸出

3針腳/紅色

+15VDC

4針腳/黑色

電源COM

5針腳/黃色

-15VDC

6針腳/灰色

7針腳/綠色

輸出COM

8針腳/蘭色

9針腳/紫色


壓損、管路接口
使用注意

一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請將設(shè)備管路進行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進口壓力5公斤。

五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

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