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上海華械自動化設備有限公司
日本KOFLOC 3660系列質量流量控制器 3660系列設計精密,成本較低。廣泛用于各個不同的領域從實驗室和研究開發項目 到各種儀器設備的標準采用機種發揮了很好的實際效果,另外還有有各種衍生功能科選目前上海建立維修售后中心,更快速度解決售后問題氣體質量流量控制器、質量流量控制器、氣體流量控制器氣體質量流量計、質量流量計、氣體流量計
3660 | 3665 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-200SLPM |
精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
有效范圍 | 2-99% | 5-99% |
重復性 | ±0.5%FS | |
響應時間 | 2秒 | 3秒 |
動作壓差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
另有低壓差、高壓差產品可選, | ||
耐壓 | 1.0Mpa | |
泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | |
溫度范圍 | 5-45℃ | |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) | |
材質 | 本體SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
密封圈VITON,選配NBR或FKM | ||
電氣接口 | DB9 | |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 | |
供電 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)250mA; | |
管路連接 | 標配1/4F9 | 標配3/8F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
重量 | 約1000g | 約1500g |
針腳/顏色 | 定義 |
1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
3針腳/紅色 | +15VDC |
4針腳/黑色 | 電源COM |
5針腳/黃色 | -15VDC |
6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
7針腳/綠色 | 輸出COM |
8針腳/蘭色 | 輸入COM |
9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。
三:在使用質量流量控制器的時候,進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥"。
四:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。
五:通氣體時,請先開氣源,后設定值。
六:切勿在沒有通氣的情況下,對流量控制器進行設定a。
七:使用完以后,請將流量控制器值歸零或斷電。
八:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態 再操作。
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